| 摘要 |
<p>変調電力供給システム（２３０）を注入装置で用いることで電圧のグリッチを最小限に抑えた、イオン注入システム及びイオン注入方法を開示する。変調電力供給システムは、従来の電源（３００）と、それぞれの電源と関連する制御ユニット（３１０）とを備え、グリッチ又はアークを検出した場合に、制御ユニットを用いてソーススイッチ（３２１）を開放することで電極から電源を分離し、放電スイッチ（３３１）を閉じることで電極の電荷をグランドへ速やかに消散させる。グリッチ状態が是正された後、制御ユニットは電源と電極との間の接続を修復する。【選択図】図５</p> |
