Verfahren und Vorrichtung zur Dichtigkeitsprüfung eines abgeschlossenen Behälters

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Dichtigkeitsprüfung eines abgeschlossenen Behälters (20), der ein erstes inneres abgeschlossenes Volumen (21) aufweist, das mit einer ersten gasförmigen Substanz mit einem ersten Druck (p1) gefüllt ist. Dabei wird in einem den Behälter (20) umgebenden zweiten Volumen (81) ein zweiter Druck (p2), der größer als der erste Druck (p1) ist, erzeugt. Zur Erzeugung des zweiten Druckes (p2) in dem den Behälter (20) umgebenden zweiten Volumen (81) wird eine zweite gasförmige Substanz, die ein Raman-Spektralband aufweist, das in einem anderen Wellenlängenbereich als die Raman-Spektralbanden der ersten gasförmigen Substanz liegt, eingefüllt. Nach Ablaufen einer vorbestimmten Zeit wird die Konzentration der sich in dem ersten Volumen (21) des Behälters (20) befindlichen Moleküle der zweiten gasförmigen Substanz mittels Raman-Spektroskopie gemessen.