| 发明名称 |
セラミックスコーティングされたリング及びセラミックスコーティングを施すための方法 |
| 摘要 |
<p>セラミックスコーティングされた物品を製造するために、リング形状を有する石英基板の少なくとも１つの表面は、約１００マイクロインチ〜約３００マイクロインチの粗さに粗面化される。その後、石英基板は、イットリウム含有酸化物を含むセラミックスコーティングでコーティングされる。その後、石英基板は、研磨される。</p> |
| 申请公布号 |
JP2015523458(A) |
申请公布日期 |
2015.08.13 |
| 申请号 |
JP20150505885 |
申请日期 |
2013.04.10 |
| 申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ |
发明人 |
サン ジェニファー ワイ;デュアン レングアン;ルボミルスキー ドゥミトリ |
| 分类号 |
C23C4/12;C04B41/87;C04B41/91;C23C4/02;C23C4/10;C23C4/18 |
主分类号 |
C23C4/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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