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发明名称
抵抗測定システム及びこれを用いる方法
摘要
<p>【課題】【解決手段】カーボン・ナノ構造担持基材の製造のための品質管理システムは、カーボン・ナノ構造(CNS)担持基材基板の抵抗を連続的に測定するための抵抗測定モジュールを含む。【選択図】図1</p>
申请公布号
JP2015523541(A)
申请公布日期
2015.08.13
申请号
JP20140561055
申请日期
2013.03.05
申请人
发明人
分类号
G01N27/04;C01B31/02;G01R27/02
主分类号
G01N27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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