发明名称 抵抗測定システム及びこれを用いる方法
摘要 <p>【課題】【解決手段】カーボン・ナノ構造担持基材の製造のための品質管理システムは、カーボン・ナノ構造(CNS)担持基材基板の抵抗を連続的に測定するための抵抗測定モジュールを含む。【選択図】図1</p>
申请公布号 JP2015523541(A) 申请公布日期 2015.08.13
申请号 JP20140561055 申请日期 2013.03.05
申请人 发明人
分类号 G01N27/04;C01B31/02;G01R27/02 主分类号 G01N27/04
代理机构 代理人
主权项
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