| 发明名称 | 一种对衬底进行处理的方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明提供了一种使用物理气相沉积(PVD)对衬底进行处理的方法，其中，向衬底提供冷却气体，以使得衬底在PVD工艺过程中被从衬底支承件上升起。 | ||
| 申请公布号 | CN104831251A | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
| 申请号 | CN201510065284.7 | 申请日期 | 2015.02.06 |
| 申请人 | SPTS科技有限公司 | 发明人 | 安东尼·P·威尔比;斯蒂芬·R·伯吉斯 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 归莹;张颖玲 |
| 主权项 | 一种使用物理气相沉积(PVD)对衬底进行处理的方法，其中，为所述衬底提供冷却气体，以使得所述衬底在PVD工艺过程中被从衬底支承件上升起。 | ||
| 地址 | 英国新港 | ||