一种平面小功率微波微等离子体线性阵列源

摘要

本发明公开了一种平面小功率微波微等离子体线性阵列源，包括微带传输线阵列、耦合条、接地导带和馈电导带；其中，微带传输线阵列与接地板连接，其一端开路，与接地导带形成缝隙；微波功率通过馈电导带输入，馈电导带两侧的阵元分别用耦合条连接，馈电导带不与耦合条连通。工作时通过双馈电点输入小功率微波，在缝隙处激励起平面微波微等离子体线性阵列。本发明具有成本低、输入功率小和微等离子体双线性阵列均匀激励等优点。

主权项

一种平面小功率微波微等离子体线性阵列源，其特征在于，包括：微带传输线阵列(1)、耦合条(10)、接地导带(20)和馈电导带(30)；其中，所述微带传输线阵列(1)包括多个平行排列的微带传输线单元(11)，所述微带传输线单元(11)通过所述耦合条(10)连接；所述微带传输线单元(11)包括两个四分之一波长微带传输线(111)，两个所述四分之一波长微带传输线(111)的一端通过第一接地点(2)与接地板(7)连接，另一端贴近所述接地导带(20)，并与所述接地导带(20)之间具有缝隙(3)；所述馈电导带(30)设置于所述微带传输线阵列(1)的中央，并与所述微带传输线单元(11)平行排列；所述馈电导带(30)包括第一馈电导带(301)和第二馈电导带(302)，所述第一馈电导带(301)和所述第二馈电导带(302)的一端通过第二接地点(33)与接地板(7)连接，另一端贴近所述接地导带(20)，并与所述接地导带(20)之间具有缝隙(3)；所述第一馈电导带(301)上设置有第一馈电点(31)，所述第二馈电导带(302)上设置有第二馈电点(32)；所述接地导带(20)上设置有第三接地点(22)，所述第三接地点(22)与所述接地板(7)连接。