高精度晶体提升装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度晶体提升装置，采用了减速机通过传动轴驱动卷丝轴提升，通过链条同步带动丝杆螺母驱动的拉线位移传感器，以精确反馈晶绳和晶棒状态。本晶体提升装置可保持晶绳下放位置固定，提升速度精确调整，实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度，为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息，使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。

主权项

高精度晶体提升装置，其特征在于，传动轴（2）一端通过链轮安装在减速机（1）上，传动轴（2）的另一端安装轴承座（5），卷丝轴（3）安装在传动轴（2）上，并且卷丝轴（3）通过传动螺母（4）安装在轴承座（5）上；丝杆（8）一端安装在一个链轮上，丝杆（8）的另一端安装有拉线位移传感器（6），滑块（7）安装在丝杆（8）上，拉线位移传感器（6）的线头连接到滑块（7）；传动轴（2）端的链轮与丝杆（8）端链轮通过链条（9）联接。