发明名称 |
基板承载装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种基板承载装置,包括基座、多个支柱和多个滚珠。基座具有一顶面和一底面,基座内设有多个安装通孔;多个支柱能分别安装于基座的多个安装通孔内;多个滚珠分别可转动地设于多个支柱的顶部,滚珠凸出基座顶面,并且多个滚珠的顶端在同一平面上。本实用新型中,多个支柱的顶部分别设有可转动的滚珠,滚珠凸出基座顶面,且多个滚珠的顶端面在同一平面上,基板可以支撑于多个滚珠上。在矫正基板位置过程中,滚珠可以转动,基板与基座之间的摩擦为滚动摩擦。与传统技术中基板与基座之间的滑动摩擦相比,本实用新型中,基板与基座之间摩擦力大为减小,因此能有效降低基板划伤或刮伤的风险,提高基板图形质量。 |
申请公布号 |
CN204558440U |
申请公布日期 |
2015.08.12 |
申请号 |
CN201520181218.1 |
申请日期 |
2015.03.27 |
申请人 |
上海和辉光电有限公司 |
发明人 |
郭世佳 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
隆天知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
聂慧荃;郑特强 |
主权项 |
一种基板承载装置,其特征在于,包括:基座(1),具有一顶面和一底面,基座(1)内设有多个安装通孔;多个支柱(2),所述多个支柱(2)能分别安装于所述基座(1)的所述多个安装通孔内;多个滚珠(3),分别可转动地设于所述多个支柱(2)的顶部,所述滚珠(3)凸出所述基座(1)顶面,并且所述多个滚珠(3)的顶端在同一平面上。 |
地址 |
201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 |