| 摘要 |
<p>본 발명은 유리기판에 TCO(Transparent Conductive Oxide) 용액을 분무하여 증착하는 하드 로이 유리 제조장치에 있어서, 진공챔버를 조성하는 진공펌프, 유리기판을 가열하는 히팅판, 및 히팅판에 의해 가열된 유리기판에 TCO 용액을 분무하는 노즐을 포함하는 초음파 분무기를 포함하며, 유리기판, 히팅판, 및 노즐은 진공챔버 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 하드 로이 유리 제조장치에 관한 것이다. 또한, 유리기판에 TCO 용액을 분무하여 증착하는 하드 로이 유리 제조방법에 있어서, (a) 유리기판이 글로브 박스 내에 위치한 히팅판에 장착되는 단계, (b) 글로브 박스가 진공 배기되는 단계, (c) 히팅판이 히팅판에 장착된 유리기판을 가열하는 단계, 및 (d) 초음파 분무기가 가열된 유리기판에 TCO 용액을 분무하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 하드 로이 유리 제조방법을 제공한다. 본 발명을 통해, 투명성이 높고 단열성능이 향상된 하드 로이 유리의 제조가 가능하다.</p> |
