发明名称 |
微机电感测装置及其制作方法 |
摘要 |
本发明提出一种微机电感测装置,其包含一基板、一微机电元件区、一膜层、一黏着层、一盖体、至少一个开口及多个导线。该基板包括一第一表面及一相对该第一表面的第二表面。该微机电元件区位于该第一表面上,且包括一腔室。该膜层覆盖于该微机电元件区上,并使该腔室成为一密闭空间。该盖体通过该黏着层固定于该微机电元件区上。该开口位于该盖体或该黏着层,且该开口允许该微机电感测装置的外部空气施压力于该膜层。该多个导线电性连接该微机电元件区,并延伸至该第二表面上。 |
申请公布号 |
CN102730623B |
申请公布日期 |
2015.08.12 |
申请号 |
CN201110087886.4 |
申请日期 |
2011.04.06 |
申请人 |
原相科技股份有限公司 |
发明人 |
王传蔚;蔡明翰 |
分类号 |
B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
陈肖梅;谢丽娜 |
主权项 |
一种微机电感测装置,其特征在于,包含:一基板,其中该基板包括一第一表面及一相对该第一表面的第二表面;一位于该基板的该第一表面上的一微机电元件区,其中该微机电元件区具有一腔室;一位于该微机电元件区上的屏蔽层,其中该屏蔽层具有至少一开孔;一膜层,覆盖于该屏蔽层上,并使该腔室成为一密闭空间,其中该密闭空间的一下端为该基板的该第一表面;一黏着层,设于该膜层表面;一盖体,通过该黏着层固定于该微机电元件区上;至少一个开口,位于该盖体或该黏着层;以及多个导线,电性连接该微机电元件区,并延伸至该第二表面上。 |
地址 |
中国台湾新竹 |