阀体、闸阀和基板处理系统

摘要

本发明提供一种阀体，能够在清洗阀体时无需实质上停止基板处理系统。基板处理系统10包括对基板S实施干蚀刻处理的处理室13和输送基板S的传递室11，开放或关闭连通处理室13和传递室11的连通口19a的阀体22包括可移动的主体23和罩部件24，罩部件24能够从主体23拆下，由在阀体22关闭连通口19a时隔着连通口19a与处理室13相对的相对部件40构成，在阀体22关闭连通口19a时，通过连通口19a从处理室13侧观察阀体22，在连通口19a内能够视认相对部件40整体。

主权项

一种阀体，其在包括对基板实施规定处理的处理室和向该处理室输送所述基板的传递室的基板处理系统中，用于开放或关闭连通所述处理室和所述传递室的连通口，该阀体的特征在于，包括：能够移动的主体；和具有相对部件的覆盖部件，所述相对部件安装于该主体，并且能够从所述主体拆下，当所述阀体关闭所述连通口时，所述相对部件隔着所述连通口与所述处理室相对，当所述阀体关闭所述连通口时，经由所述连通口从所述处理室侧观察所述阀体时，在所述连通口内能够看到所述相对部件整体，所述覆盖部件包括板状部件，所述覆盖部件具有包围所述相对部件的框体，该框体由能够通过所述连通口的分割片构成，当所述阀体关闭所述连通口时，经由所述连通口从所述处理室侧观察所述阀体时，所述框体的外周部和所述主体被遮住而不能被看到。