| 发明名称 | 一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法，采用化学气相沉积与高温处理相结合的工艺方法在炭/炭复合材料盖板的外表面制备出致密、结合力强的SiC涂层，降低多晶硅铸锭的碳含量、延长盖板的使用寿命，尤其适用于多晶硅铸锭炉用盖板的开发和应用。 | ||
| 申请公布号 | CN104831351A | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
| 申请号 | CN201510289666.8 | 申请日期 | 2015.05.29 |
| 申请人 | 西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司 | 发明人 | 马玉洁;成来飞;邬国平;左新章;冯锋 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B28/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 杨亚婷 |
| 主权项 | 一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板，坩埚盖板为炭/炭复合材料盖板，其特征在于：所述炭/炭复合材料盖板的外表面设置有SiC涂层。 | ||
| 地址 | 710065 陕西省西安市高新区丈八一路1号1幢1单元10808室 | ||