一种用于打磨碳化硅单晶定位边的夹具及其应用

摘要

本发明涉及一种用于打磨碳化硅单晶定位边的夹具及其应用，该夹具包括底板、第一定位板、第二定位板和螺栓固定板；第一定位板、第二定位板垂直设置在底板的两个相邻边上，第一定位板、第二定位板垂直设置；螺栓固定板设置在第一定位板和第二定位板上，螺栓固定板与底板平行设置；螺栓固定板上贯通设置有螺栓顶丝，螺栓固定板上设置有与螺栓顶丝相应的螺纹；第一定位板、底板的边长分别小于晶体的直径。该晶体在对晶体加工过程中无需对每个晶体分别定向，可以直接研磨出符合要求的晶向及偏角，大大提高晶体整形阶段的加工效率，节约了加工时间，提高了整条工艺线设备的投入、产出比。

主权项

一种用于打磨碳化硅单晶定位边的夹具，其特征在于，包括底板、第一定位板、第二定位板和螺栓固定板；所述第一定位板、第二定位板垂直设置在底板的两个相邻边上，且第一定位板与第二定位板垂直连接；所述螺栓固定板设置在第一定位板和第二定位板上端，且螺栓固定板与底板相平行；在所述螺栓固定板上贯通设置螺栓顶丝，所述螺栓顶丝与螺栓固定板螺纹连接；第一定位板、底板的边长均小于晶体的直径。