发明名称 对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台
摘要 本发明涉及对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台。本发明涉及对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的方法,而且本发明还涉及用于支承特别是用于测量薄层的厚度的测量探头的测量台,其中,马达(34)由控制组件(25)启动,控制组件(25)通过传动组件(35)使冲杆(23)上下运动,其中,固持器(24)设置在冲杆(23)上,测量探头(26)可紧固到固持器上,其中,测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上,就启动在传动组件(35)和冲杆(33)之间的飞轮,而且传动组件(35)的运动与冲杆(23)的竖向运动脱开,其中,在到达测量位置(32)之前,至少一个测量探头(14)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低。
申请公布号 CN104833299A 申请公布日期 2015.08.12
申请号 CN201510062730.9 申请日期 2015.02.06
申请人 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 发明人 H.菲舍尔
分类号 G01B7/06(2006.01)I 主分类号 G01B7/06(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李强;谭祐祥
主权项 一种对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)以便测量薄层的厚度的方法,其中,马达(34)由控制组件(25)启动,所述控制组件(25)通过传动组件(35)来使冲杆(23)上下运动,其中,在所述冲杆(23)上提供固持器(24),所述测量探头(26)可紧固到所述固持器上,其中,所述测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上,就启动在所述传动组件(35)和所述冲杆(33)之间的飞轮,并且所述传动组件(35)的运动与所述冲杆(23)的竖向运动脱开,其特征在于,在到达所述测量位置(32)之前,所述至少一个测量探头(14)从所述开始位置(31)运动到所述测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低。
地址 德国辛德尔芬根