发明名称 |
鼠笼型摆线式工件架 |
摘要 |
本实用新型提供了一种鼠笼型摆线式工件架,它包括前导轨、鼠笼型工件篮、后导轨、传动座、电动机、齿轮、支撑架和光电开关,前导轨和后导轨设置在支撑架上,支撑架连接传动座,传动座连接电动机和光电开关,鼠笼型工件篮设置在前导轨和后导轨上,齿轮安装在支撑架的一端。本实用新型能使镀制品的薄膜沉积均匀,沉积厚度可控,故显著增加薄膜制备的重复性与可控性,因其结构特点能在其上下区域安装沉积源,致使镀制的生产效率是传统方式的2至3倍。 |
申请公布号 |
CN204550708U |
申请公布日期 |
2015.08.12 |
申请号 |
CN201520213127.1 |
申请日期 |
2015.04.02 |
申请人 |
深圳市天星达真空镀膜设备有限公司;哈尔滨商业大学 |
发明人 |
钱锋;林晶;李恒;孙智慧 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种鼠笼型摆线式工件架,其特征在于它包括前导轨、鼠笼型工件篮、后导轨、传动座、电动机、齿轮、支撑架和光电开关,前导轨和后导轨设置在支撑架上,支撑架连接传动座,传动座连接电动机和光电开关,鼠笼型工件篮设置在前导轨和后导轨上,齿轮安装在支撑架的一端。 |
地址 |
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 |