一种制绒工序前预清洗工艺

摘要

本发明公开了一种制绒工序前预清洗工艺，包括以下步骤：(1)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道；(2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗；(3)清洗过后硅片上残留的水将被水槽末端的软滚轮挤掉；(4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N₂氛围下被吹干；(5)在步骤(4)中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽；(6)对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。本发明的硅片先过预清洗水槽水洗，再经过风刀槽吹干，保证了进入刻蚀槽的硅片表面既干燥又洁净，防止水被带入刻蚀槽降低刻蚀槽药液浓度。

主权项

一种制绒工序前预清洗工艺，其特征在于：包括以下步骤：(1)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道；(2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗；(3)清洗过后将硅片输送到出水槽，硅片上残留的水将被挤掉；(4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N₂氛围下被吹干；(5)在步骤(4)中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽；(6)检片人员对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。