| 发明名称 | 衬底处理的方法和用于所述方法的处理组成物 | ||
| 摘要 | 高卤酸和硫酸的混合物在高温下出乎意料地稳定，并在剥离光致抗蚀剂中是有效的，其包括用较短的处理时间剥离难以处理的注入了离子的光致抗蚀剂。在使用中，在高达145℃的温度没有观察到混合物的分解。在该混合物中，硫酸是高度纯化的，并具有96wt％或更高的浓度。高卤酸优选为H<sub>5</sub>IO<sub>6</sub>。 | ||
| 申请公布号 | CN102893379B | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
| 申请号 | CN201180022335.8 | 申请日期 | 2011.04.14 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 赫伯特·席勒 |
| 分类号 | H01L21/312(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/312(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 一种处理衬底的方法，其包括：提供硫酸和高碘酸的混合物至已安装所述衬底的旋转卡盘上，所述混合物温度在110℃到145℃的范围内，使得保持所述混合物与所述衬底接触的时间为从1到5分钟；其中，根据H<sub>5</sub>IO<sub>6</sub>和H<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>计算，所述硫酸在50‑99.5wt.％的范围内，且高碘酸在上述混合物中在0.1‑10wt.％的范围内。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||