一种低功耗的单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种低功耗的单晶炉，包括炉底、炉壁、保温筒、坩埚、导流筒、保温盖和加热器，所述保温盖与保温筒和导流筒之间设有保温盖下碳毡；所述导流筒包括内导流筒和外导流筒，所述内导流筒和外导流筒之间设有软毡，所述炉底设有软毡保温层。本实用新型相比现有技术，进行了局部范围的改造，增加了保温毡，减少了热量流失，有效降低了热场系统能耗，在降低热场功耗的同时，有效延长了石墨件的使用寿命，降低了熔体的横温度梯度，保证了生长晶体品质。另外，保温效果的增加不但降低用电功率的损耗，也增加了热场的纵向温度梯度，在一定程度上可以提高晶体生长速度，缩短晶体生长周期，从而在另一个方面达到降低功耗的目的。

主权项

一种低功耗的单晶炉，包括炉底、炉壁、保温筒、坩埚、导流筒、保温盖和加热器，所述坩埚的外侧安装有加热器，保温筒位于加热器外，所述导流筒位于坩埚上方，所述坩埚通过中轴连杆与炉底相固定，所述保温盖位于保温筒和导流筒上方，其特征在于，所述加热器分别通过石墨电极固定在炉底，所述保温盖与保温筒和导流筒之间设有保温盖下碳毡；所述导流筒包括内导流筒和外导流筒，所述内导流筒和外导流筒之间设有软毡，所述炉底设有软毡保温层，所述保温筒为侧壁碳毡，内导流筒与保温盖之间的夹角为75°‑80°。