一种大功率太阳能电池片石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的若干第一石墨舟片和第二石墨舟片，第一石墨舟片的两侧下部设置有第一连接耳片，第二石墨舟片的两侧上部设置有第二连接耳片，第一连接耳片和第二连接耳片之间设置有供外石墨棒穿过的石墨块，第一石墨舟片和第二石墨舟片上间隔设置有若干供内石墨棒穿过的孔，第一石墨舟片和第二石墨舟片之间的内石墨棒段上设置有与内石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成一空气腔，陶瓷管本体上开设有与空气腔连通的通孔。本实用新型在进行PECVD工艺时，保证设备内为无氧环境，保证PECVD工艺镀膜的效果。

主权项

一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的若干第一石墨舟片和第二石墨舟片，所述第一石墨舟片的两侧下部设置有第一连接耳片，所述第二石墨舟片的两侧上部设置有第二连接耳片，所述第一连接耳片和第二连接耳片之间设置有供外石墨棒穿过的石墨块，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片上间隔设置有若干供内石墨棒穿过的孔，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片之间的内石墨棒段上设置有与所述内石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，所述陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成一空气腔，其特征在于，所述陶瓷管本体上开设有与所述空气腔连通的通孔。