一种边缘出气的可控温加热盘

摘要

一种边缘出气的可控温加热盘，主要解决现有的加热盘及静电卡盘所存在的无法快速、准确控制晶圆温度的问题。所述加热盘在其内部分布加热丝及沿圆周方向设置一个导热介质储存及流动空间；所述加热盘圆周外围设有气体出口；所述加热盘的中心设有气体回收孔。上述导热介质储存及流动空间采用热传导介质管路，可使用铸造、焊接或预埋管路的方式实现。本发明结构合理，使得导热介质能够直接、快速、均匀的分布在加热盘与晶圆之间，以实现对晶圆温度的快速准确控制，进一步提高晶圆的成品率及半导体沉积设备的生产效率。

主权项

一种边缘出气的可控温加热盘，包括加热盘，其特征在于：所述加热盘在其内部分布加热丝及沿圆周方向设置一个导热介质储存及流动空间；所述加热盘圆周外围设有气体出口；所述加热盘的中心设有气体回收孔。