一种透射电子显微镜用双轴倾转样品台

摘要

一种透射电子显微镜用双轴倾转样品载台，属于透射电子显微镜配件领域。包括样品杆杆身，驱动轴，连接轴，旋转轴和样品台，样品杆前端留有旋转轴孔，样品台末端有与其一体的运动导槽，样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接，通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退，使样品台以旋转轴为中心进行旋转。采用不同形状轨迹的运动导槽可以实现双倾。根据样品载台尺寸的大小，可调节旋转轴距导槽初始水平方向的距离或者改变运动导槽与水平方向的夹角，进而调节可实现的双轴倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用，通用性广。本装置简单，装配方便，成本低，可精确控制倾转角度。

主权项

透射电子显微镜用双轴倾转样品台，其特征在于，该样品台包括样品杆杆身，驱动轴，连接轴，旋转轴、样品台，杆身前端留有旋转轴孔，样品台末端开有运动导槽，样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接，驱动轴上开有与连接轴配合的孔，通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连；通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退，使样品台以旋转轴为中心进行旋转；样品杆杆身的中间开有与驱动轴相配合的通孔，电机固定在样品杆上，杆身的末端设有同轴电缆。