具有减小不准确性且维持对比度的填充元件的计量目标

摘要

本申请案涉及具有减小不准确性且维持对比度的填充元件的计量目标。本发明提供设计计量目标的方法。所述方法包括识别目标设计中的连续区域及将指定填充元件引入到所述所识别连续区域中。通过对比度要求与不准确性要求之间的折衷而确定所述所引入填充元件的参数，所述不准确性要求经由制作而与所述识别连续区域相关联。本发明揭示相应目标及目标设计文件。任选地，可以改善的准确性使用相同的计量设备及过程来测量所述目标。

主权项

一种设计计量目标的方法，其包括识别目标设计中的连续区域及将指定填充元件引入到所述所识别连续区域中，其中通过对比度要求与不准确性要求之间的折衷而确定所述所引入填充元件的参数，所述不准确性要求经由制作而与所述识别连续区域相关联，且其中由至少一个计算机处理器执行所述识别及所述引入中的至少一者。