固体摄像装置

摘要

通过实施方式，提供具有多个像素和元件隔离部的固体摄像装置。多个像素配置于半导体基板。多个像素的各像素具有信号存储部。元件隔离部将半导体基板上的多个像素彼此电隔离。元件隔离部是DTI(Deep Trench Isolation，深槽隔离)型。多个像素各自的信号存储部具有第一半导体区域和第二半导体区域。第一半导体区域覆盖元件隔离部中的在信号存储部一侧的侧壁。第一半导体区域是第一导电型。第二半导体区域从半导体基板的比表面更深的位置起沿深度方向纵型地配置并且沿着第一半导体区域延伸成板状。第二半导体区域是第二导电型。第二导电型是与第一导电型相反的导电型。

主权项

一种固体摄像装置，具备：多个像素，配置于半导体基板，且分别具有信号存储部；以及深槽隔离型的元件隔离部，将所述半导体基板中的所述多个像素彼此电隔离，所述多个像素各自中的所述信号存储部具有：第一导电型的第一半导体区域，覆盖所述元件隔离部的所述信号存储部一侧的侧壁；以及第二导电型的第二半导体区域，从所述半导体基板中的比表面深的位置起沿深度方向纵型地配置并且沿所述第一半导体区域延伸成板状，并且所述第二导电型是与所述第一导电型相反的导电型。