刻蚀反应设备及其节流阀

摘要

一种刻蚀反应设备及其节流阀，包括一第一基板、一第二基板以及多个叶片。第一基板包括多个枢接结构，其中，一第一开口形成于第一基板之上。第二基板包括多个转向结构，其中，一第二开口形成于第二基板之上。每一叶片包括一枢接部以及一连结部，枢接部连接枢接结构其中之一，连结部连接转向结构其中之一。通过第一基板与第二基板之间的相对转动，叶片于一第一方位以及一第二方位之间转动，当叶片处于第一方位时，叶片共同定义一叶片开口，叶片开口对应第一开口以及第二开口，当叶片处于第二方位时，叶片开口被关闭。本发明的节流阀不使用皮带，因此避免了微粒污染的情形，并且节流阀不会因气流压力产生杠杆效应，因此节流阀的可靠度被有效提高。

主权项

一种节流阀，其特征在于，所述节流阀包括：一第一基板，包括多个枢接结构，其中，一第一开口形成于该第一基板之上；一第二基板，包括多个转向结构，其中，一第二开口形成于该第二基板之上；多个叶片，其中，每一叶片包括一枢接部以及一连结部，该枢接部连接所述枢接结构其中之一，该连结部连接所述转向结构其中之一，通过该第一基板与该第二基板之间的相对转动，所述叶片于一第一方位以及一第二方位之间转动，当所述叶片处于该第一方位时，所述叶片共同定义一叶片开口，该叶片开口对应该第一开口以及该第二开口，当所述叶片处于该第二方位时，该叶片开口被关闭。