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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A PATTERN STRUCTURE
摘要 <p>패턴 구조물의 제조 방법에 있어서, 도전성 기판 상에, 고분자 몰드를 이용하는 임프린트 리소그래피 공정으로 격벽 패턴들을 형성한 후, 상기 도전성 기판 상에 상기 격벽 패턴들 사이로 도금 공정을 통하여 금속 패턴을 형성한다. 이로써 간단한 공정으로 금속 패턴을 구비한 패턴 구조물이 형성될 수 있다.</p>
申请公布号 KR101544305(B1) 申请公布日期 2015.08.12
申请号 KR20140006660 申请日期 2014.01.20
申请人 发明人
分类号 B29C59/02;G02B5/18 主分类号 B29C59/02
代理机构 代理人
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