一种IGBT大型模块真空工艺装置

摘要

本实用新型公开了一种IGBT大型模块真空工艺装置，包括：真空部分、工装夹具和夹具固定板（3），所述真空部分包括：真空箱体（1）、真空枪阀（9）和三轴运动系统，所述三轴运动系统包括：Y轴运动系统（7）、X轴运动系统（8）和Z轴运动系统（10）；所述工装夹具的上方和下放分别设置有IGBT定位块夹具（4）和IGBT固定块夹具（6），且夹具固定板（3）固定于真空箱体（1）的底部，两侧分别设置有一块运动轴垫块（2），所述工装夹具将IGBT模块（5）固定，并由真空枪阀（9）进行灌胶。

主权项

一种IGBT大型模块真空工艺装置，其特征在于，包括：真空部分、工装夹具和夹具固定板（3），所述真空部分包括：真空箱体（1）、真空枪阀（9）和三轴运动系统，所述三轴运动系统包括：Y轴运动系统（7）、X轴运动系统（8）和Z轴运动系统（10）；所述工装夹具的上方和下放分别设置有IGBT定位块夹具（4）和IGBT固定块夹具（6），且夹具固定板（3）固定于真空箱体（1）的底部，两侧分别设置有一块运动轴垫块（2），所述工装夹具将IGBT模块（5）固定，并由真空枪阀（9）进行灌胶。