发明名称 |
电极蒸镀装置 |
摘要 |
一种电极蒸镀装置,包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元,电极蒸发源设置于电极蒸镀单元的底部;所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒,所述样品托插座用于固定一样品,且具有相对的两个凸棒,定义相互垂直的一X方向和一Y方向,该两个凸棒的连线平行于所述X方向;所述第一限位框具有相对的两个第一开口,第二限位框具有相对的两个第二开口,该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上,且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口;所述磁力棒位于第一限位框的外侧,且该磁力棒沿所述Y方向延伸。 |
申请公布号 |
CN204550697U |
申请公布日期 |
2015.08.12 |
申请号 |
CN201520219715.6 |
申请日期 |
2015.04.13 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
胡小鹏;薛其坤;陈曦;赵大鹏 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 |
代理人 |
哈达 |
主权项 |
一种电极蒸镀装置,包括一电极蒸发源和一电极蒸镀单元,所述电极蒸发源设置于所述电极蒸镀单元的底部;其特征在于,所述电极蒸镀单元包括一样品托插座、一第一限位框、一第二限位框和一磁力棒,所述样品托插座用于固定一样品,该样品托插座具有相对的两个凸棒,定义相互垂直的一X方向和一Y方向,该两个凸棒的连线平行于所述X方向;所述第一限位框具有相对的两个第一开口,第二限位框具有相对的两个第二开口,该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上,且所述凸棒依次穿过所述第二开口和第一开口;所述磁力棒位于第一限位框的外侧,且该磁力棒沿所述Y方向延伸。 |
地址 |
100084 北京市海淀区北京100084-82信箱 |