具有阶梯功率的四氯化硅传导炉

摘要

具有阶梯功率的四氯化硅传导炉，涉及四氯化硅生产技术领域，在介质传输管外串联式布置至少两组金属加热板，在各金属加热板内铸有若干电加热管，在同一个金属加热板内的各电加热管的功率相同，不同的金属加热板的发热功率不同，沿着介质传输管的长度方向依次设置的金属加热板的发热功率呈阶梯布置。本实用新型方便制作，使整个传导炉具有阶梯功率，可使介质进口处加热器功率大，低温介质带走的热量多，随着介质温度的升高，加热器的功率在降低，带走的热量减少，保证加热器本体的温度均匀，还可大大提高加热器的使用寿命，不会出现局部过热而损坏加热器。

主权项

具有阶梯功率的四氯化硅传导炉，包括介质传输管，在介质传输管外串联式布置至少两组金属加热板，在各金属加热板内铸有若干电加热管，其特征在于在同一个金属加热板内的各电加热管的功率相同，不同的金属加热板的发热功率不同，沿着介质传输管的长度方向依次设置的金属加热板的发热功率呈阶梯布置。