加热盘组件定位结构位置检验工装及操作方法

摘要

加热盘组件定位结构位置检验工装及操作方法，以简化对加热盘和陶瓷环定位结构的质量检验工作为目的，实现了加热盘和陶瓷环两个零件定位结构的质量检验使用同一工装且简易操作的效果。该检验工装利用整块铝材料加工一“T”字形结构，在“T”字形结构的三个末端，正、反两面分别设置突起的销柱和突起的带有孔的凸台，并且使正面的三个凸台的孔的分度圆与加热盘边缘的三个均布的销孔的分度圆直径相等；所述反面的三个突起的销柱的分度圆与陶瓷环边缘的三个均布的销孔的分度圆直径相等。利用所述的凸台的孔和突起的销对加热盘边缘销孔和瓷环边缘销孔的分度圆直径及销孔的孔径进行检验是否合格。可广泛用于半导体薄膜沉积应用技术领域。

主权项

一种加热盘组件定位结构位置检验工装，其特征在于：该检验工装利用整块铝材料加工一“T”字形结构，在“T”字形结构的三个末端，正、反两面分别设置突起的销柱和突起的带有孔的凸台，并且使正面的三个凸台的孔的分度圆与加热盘边缘的三个均布的销孔的分度圆直径相等；所述反面的三个突起的销柱的分度圆与陶瓷环边缘的三个均布的销孔的分度圆直径相等。