一种LTCC材料介电常数的测试方法及其适用于该方法的夹具和谐振环器件

摘要

本发明涉及一种LTCC材料介电常数的测试方法及其适用于该方法的夹具和谐振环器件，测试方法步骤如下：1）先制作LTCC谐振环；2）利用光学显微镜量测LTCC谐振环的内外半径，线宽，厚度；3）将网络分析仪与测试夹具连接好，再将制作好的LTCC谐振环放入测试夹具测试；4）根据光学显微镜的测量数据和网络分析仪的测试结果，利用换算公式计算该LTCC谐振环所用的LTCC材料的介电常数值；同理，根据实际测试结果，对仿真模型进行修正，是其谐振频率到达测试频点，以此得出介电常数的仿真反馈结果；5）将理论计算结果、仿真反馈结果与进料标定值进行对比验证。本发明利用现成的LTCC制成工艺，制作和测试上更为方便。

主权项

一种LTCC材料介电常数的测试方法,其特征在于，该方法包括以下步骤：1)先用同一批生瓷片通过LTCC工艺进行制作LTCC谐振环；2)利用光学显微镜的自带测量工具量测LTCC谐振环的内外半径，线宽，厚度，并保存数据；3)将网络分析仪的两个端口通过同轴线与测试夹具的两个SMA头连接好，再将制作好的LTCC谐振环放入测试夹具的制定区域内进行测试，保存测试数据；4)根据光学显微镜的测量数据和网络分析仪的测试结果，利用换算公式p＝1,2,3…，其中，r1代表LTCC谐振环内圈的半径，r2代表LTCC谐振环外圈的半径，h为LTCC谐振环的厚度，w为LTCC谐振环表面的线宽；计算该LTCC谐振环所用的LTCC材料的介电常数值；同理，根据实际测试结果，对仿真模型进行修正，是其谐振频率到达测试频点，以此得出介电常数的仿真反馈结果；5)将理论计算结果、仿真反馈结果与进料标定值进行对比验证。