一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统

摘要

本实用新型涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和计算机，所述计算机分别连接电学测试装置和显微图像实时采集装置；所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针和数字源表，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述数字源表一端通过电学测试线与测试探针连接，另一端通过数据传输线与计算机连接；所述显微图像实时采集装置包括数据码光学显微模块，该数据码光学显微模块设置在样品装夹座上，并通过数据传输线与计算机连接。与现有技术相比，本实用新型具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。

主权项

一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统，其特征在于，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和计算机，所述计算机分别连接电学测试装置和显微图像实时采集装置，所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针和数字源表，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述数字源表一端通过电学测试线与测试探针连接，另一端通过数据传输线与计算机连接，所述样品装夹座包括用于安装样品和测试探针的测试台底座以及用于安装显微图像实时采集装置的测试台支架，所述测试台支架与测试台底座垂直设置。