一种用于不同平面样品对准的装置

摘要

本实用新型提供一种用于不同平面样品对准的装置，包括：竖向设置的支架；上基板和下基板，上基板和下基板在水平方向上平行布置且通过支架连接为框架结构，上基板和下基板上分别设置有上对准线与下对准线，上对准线与下对准线的中心的连线垂直于上基板和下基板，上对准线与下对准线在竖直方向上的投影完全重合；以及样品台，样品台平行于上基板设置且通过支架固定于上基板的上方，样品台的中心处具有通孔，通孔的中心处于上基板和下基板的中心连线上。本实用新型通过“三点一线”的光学原理，实现处于不同平面上的样品间的图案对准，对准精度能小于0.1毫米。

主权项

一种用于不同平面样品对准的装置，其特征在于，所述装置包括：竖向设置的支架；透明的上基板和下基板，所述上基板和所述下基板在水平方向上平行布置且通过所述支架连接为框架结构，所述上基板和所述下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，所述上对准十字线与所述下对准十字线的中心的连线垂直于所述上基板和所述下基板，所述上对准十字线与所述下对准十字线在竖直方向上的投影完全重合；以及样品台，所述样品台平行于所述上基板设置且通过所述支架固定于所述上基板的上方，所述样品台的中心处具有通孔，所述通孔的中心处于所述上基板和所述下基板的中心连线上。