一种快速测量MCM基板电路图形尺寸误差的装置及方法

摘要

本发明公开了一种快速测量MCM基板电路图形尺寸误差的装置及方法，光源环绕在镜头的周围，镜头垂直设置于载物台的上方，所述基板工装设置于载物台的顶部，所述镜头连接感应成像系统，所述感应成像系统将镜头接收到的光学信号转换为灰度图像，所述数据处理系统将感应成像系统生成的灰度图像进行数据提取和存储，所述判定系统将数据处理系统生成的数据特征进行判定，所述显示输出系统用于显示感应成像系统的成像结果、数据处理系统的数据处理结果、判定系统的数据特征比较结果。高效快速的对批量MCM基板上的电路图形的多个点之间的距离进行测量并判定是否满足组装需要。能在制造之前剔除不符合要求的MCM基板，提高制造成品率，减少昂贵的裸芯片报废。

主权项

一种快速测量MCM基板电路图形尺寸误差的装置，其特征在于，包括光源、镜头、载物台、基板工装、感应成像系统、数据处理系统、判定系统和显示输出系统；所述光源环绕在镜头的周围，镜头垂直设置于载物台的上方，所述基板工装设置于载物台的顶部，所述镜头连接感应成像系统，所述感应成像系统的输出端连接数据处理系统的输入端，所述数据处理系统的输出端连接判定系统的输入端，所述判定系统的输出端连接显示输出系统的输入端，所述感应成像系统将镜头接收到的光学信号转换为灰度图像，所述数据处理系统将感应成像系统生成的灰度图像进行数据提取和存储，所述判定系统将数据处理系统生成的数据特征进行判定，所述显示输出系统用于显示感应成像系统的成像结果、数据处理系统的数据处理结果、判定系统的数据特征比较结果。