发明名称 | 一种平面气敏传感元件及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种平面气敏传感元件及其制备方法。该平面气敏传感元件采用负载CVD石墨烯的气敏传感器件;石墨烯表面沉积一维氧化锌薄膜;一维氧化锌呈笔头状;一维氧化锌的直径为100-200nm,长宽比大于3,笔尖宽度为10-100nm。本发明制备得到的气敏传感元件对丙酮气体具有响应快速,灵敏度高,操作温度低,同时对丙酮气体具有较高选择性。 | ||
申请公布号 | CN104833707A | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
申请号 | CN201510284530.8 | 申请日期 | 2015.05.29 |
申请人 | 南京信息工程大学 | 发明人 | 邵绍峰;吴红艳;王世敏;洪琦棱;吴涛 |
分类号 | G01N27/04(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/04(2006.01)I |
代理机构 | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人 | 张立荣;裴咏萍 |
主权项 | 一种平面气敏传感元件,所述气敏传感元件采用负载CVD石墨烯的气敏传感器件;其特征在于,所述石墨烯表面沉积一维氧化锌薄膜;所述一维氧化锌呈笔头状;所述一维氧化锌的直径为100‑200nm,长宽比大于3,所述笔尖宽度为10‑100nm。 | ||
地址 | 210044 江苏省南京市宁六路219号 |