使用传感器内均匀度校正进行基于幅材的光学缺陷检测的方法和系统

摘要

本发明描述了其中图像捕获装置从幅材采集图像数据的技术。所述图像数据包括所述图像捕获装置的幅材横向视野的像素值。分析计算机包括计算机可读介质，所述计算机可读介质存储多个不同归一化算法的参数，所述多个归一化算法用于将所述图像捕获装置的幅材横向背景信号归一化为一般所需值。所述计算机可读介质还存储系数，所述系数指定所述多个归一化算法中的每一个的权重。所述分析计算机根据从应用使用所存储参数的所述像素归一化算法中的至少两个获得的结果的加权和来计算所述图像数据的像素中的每一个的归一化值。

主权项

一种用于幅材缺陷检测的方法，包括：利用图像捕获装置从制造的材料捕获图像数据；将多个归一化函数中的第一函数应用至所述图像数据以产生图像的每个像素的第一归一化值；将所述多个归一化函数中的第二函数应用至所述图像数据以产生所述像素中的每一个的第二归一化值；对所述像素中的每一个的所述第一归一化值的一部分和所述第二归一化值的一部分求和来计算每个像素的最终归一化值；处理所述最终归一化值以识别出所述制造的材料上的包含异常的区域，所述异常表示所述制造的材料中的可能缺陷；分析所述异常以确定所述制造的材料的缺陷分布形式；以及在计算所述像素中的每一个的所述最终归一化值时调整所使用的所述第一归一化值的所述部分和所述第二归一化值的所述部分以使得所述缺陷分布形式为均匀的。