一种外延用石墨盘清洁炉

摘要

一种外延用石墨盘清洁炉，包括内腔室和围绕所述内腔室的外腔室、位于所述外腔室内的冷却风扇、进气管路、出气管路及与所述出气管路连接的真空泵，其特征在于：所述出气管路包括连通外腔室的第一出气管路和连通内腔室的第二出气管路；所述清洁炉还包括尾气收集装置，所述尾气收集装置位于所述出气管路与所述真空泵之间。本实用新型通过第二出气管路将清洁炉内腔室烘烤石墨盘产生的金属有机化合物抽取后，并沉积在尾气收集装置内，提高内腔室内壁石墨棉绝热层的使用寿命，并提高金属有机化合物的回收率。

主权项

一种外延用石墨盘清洁炉，包括内腔室和围绕所述内腔室的外腔室、位于所述外腔室内的冷却风扇、进气管路、出气管路及与所述出气管路连接的真空泵，其特征在于：所述出气管路包括与外腔室连通的第一出气管路以及与内腔室连通的第二出气管路；所述清洁炉包括尾气收集装置，所述尾气收集装置位于所述出气管路与所述真空泵之间。