由可微加工材料制成的自由安装轮副以及制造所述轮副的方法

摘要

本发明涉及一种齿轮系(51，51′)，所述齿轮系包括第一端部装配有一体轴环(52，52′)的心轴(53，53′)、由可微加工材料制成并装配在所述心轴(53，53′)的第二端部上的第一轮副(55，55′)。根据本发明，齿轮系(51，51′)包括由可微加工材料制成的第二轮副(57，57′)，所述第二轮副独立于所述第一轮副的运动并且具有孔(58，58′)，所述孔的壁安装成与所述心轴相对，以便所述第二轮副(57，57′)自由地安装在所述心轴(53，53′)的第一端部上。本发明还涉及制造所述齿轮系的方法。本发明涉及微加工部件领域。

主权项

一种制造齿轮系(51，51′)的方法(1)，包括以下步骤：a)取用(2)基底(29)，该基底(29)包括由可微加工材料制成、并通过中间层(32)彼此固定的顶层(31)和底层(33)；b)在顶层(31)和中间层(32)中蚀刻(3)至少一个造型(34)，直到暴露出底层(33)，以便形成属于第一轮副(55，55′)的至少一个第一腔室(35)；c)用导电涂层(37)至少涂覆(5)所述至少一个第一腔室(35)的底部；d)至少在所述至少一个第一腔室(35)的底部电铸(9)材料；e)在底层(33)中蚀刻(13)第二造型(44)，直至到达导电材料制成的所述涂层(37)，以便形成属于第二轮副(57，57′)的至少一个第二腔室(45)；f)在底层(33)的底部上构造(16)感光树脂(42，43，48)，在所述至少一个第二腔室(45)和从所述至少一个第二腔室(45)同轴地扩展的至少一个凹部(49)的壁上形成覆盖层(51)；g)继续(19)在步骤d)中开始的电铸以填充所述至少一个第一腔室(35)，并且开始在所述至少一个第二腔室(45)和所述至少一个凹部(49)中电铸(19)材料，以便形成装配有轴环(52，52′)的心轴(53，53′)；h)去除(21)感光树脂(38，40，42，43，48)；i)去除(23)中间层(32)，以便分离第一轮副(55，55′)和第二轮副(57，57′)；以及j)从基底(29)释放(25)出制成的轮副(51，51′)。