等离子体喷镀装置

摘要

本发明提供一种小型等离子体喷镀装置，其在第二气体喷嘴的喷嘴口附近供给金属丝的情况下，与金属丝所固有的畸变缺陷无关，并不设置对金属丝进行超过了其弹性极限的第二弯曲的第二弯曲导向构件，即可使金属丝运送稳定喷镀。该等离子体喷镀装置具备：第一气体喷嘴(10)，在阴极(40)的外周形成第一气体通路(11)以覆盖阴极(40)的前端部；第二气体喷嘴(20)，配置于第一气体喷嘴(10)的外侧形成第二气体通路(21)；以及金属丝通路(50)，其是向第二气体喷嘴(20)的喷嘴口(22)附近供给喷镀用的金属丝(W)的金属丝通路，具有在等离子体火焰(F)的伸展方向上长的大致呈长方形的剖面形状，对金属丝(W)施予不超出弹性极限的范围的弯曲。

主权项

一种等离子体喷镀装置，具备：阴极；在该阴极的外周形成第一气体通路以覆盖上述阴极的前端部的第一气体喷嘴；配置于该第一气体喷嘴的外侧形成第二气体通路的第二气体喷嘴；以及向该第二气体喷嘴的喷嘴口附近供给喷镀用的金属丝的金属丝通路，其中，利用在由上述金属丝通路供给的上述金属丝的前端与上述阴极之间生成的电弧，使得从上述第一气体喷嘴喷射的第一气体等离子体化，形成由上述第一气体喷嘴喷射的等离子体火焰，使上述金属丝的前端成为熔滴，利用从上述等离子体火焰和上述第二气体喷嘴喷射的第二气体将该熔滴喷射至被处理物上，其中，上述金属丝通路具有在上述等离子体火焰的伸展方向上长的大致呈长方形的剖面形状，对上述金属丝施予不超出弹性极限的范围的弯曲。