一种用于大功率太阳能电池片石墨舟的陶瓷管

摘要

本实用新型公开了一种用于大功率太阳能电池片石墨舟的陶瓷管，包括设置在相邻两石墨舟片之间且与石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，所述陶瓷管本体内壁、石墨棒外壁以及相邻两石墨舟片之间所围成区域形成一空气腔，所述陶瓷管本体上开设有与所述空气腔连通的通孔。本实用新型在进行PECVD工艺时，空气腔内部可被抽成真空，所以该陶瓷管可以避免陶瓷管内壁、石墨棒外壁以及相邻两石墨舟片之间所围成区域形成空气腔，保证设备内为无氧环境，保证利用PECVD工艺镀膜的效果。

主权项

一种用于大功率太阳能电池片石墨舟的陶瓷管，包括设置在相邻两石墨舟片之间且与石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，所述陶瓷管本体内壁、石墨棒外壁以及相邻两石墨舟片之间所围成区域形成一空气腔，其特征在于，所述陶瓷管本体上开设有与所述空气腔连通的通孔。