一种管状钼合金溅射靶材的热等静压制备方法

摘要

本发明提供了一种管状钼合金溅射靶材的热等静压制备方法，包括以下步骤：一、根据所要制备的管状钼合金溅射靶材的设计要求制作热等静压包套；二、将钼合金粉末装入热等静压包套中；三、进行真空热处理；四、将芯材套装热等静压包套内，然后进行热等静压成型，随炉冷却后去除芯材，从热等静压包套中取出成型产品，得到管状钼合金溅射靶材。本发明制备工艺简单，材料种类和合金成分几乎不受限制，所制靶材致密度高，杂质含量低。

主权项

一种管状钼合金溅射靶材的热等静压制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、根据所要制备的管状钼合金溅射靶材的形状和尺寸要求制作热等静压包套，所述热等静压包套包括第一管件(1)和套装在第一管件(1)外且与第一管件(1)同轴的第二管件(2)，所述第一管件(1)的下端和第二管件(2)的下端通过第一环形板(5)连接，所述第一管件(1)的上端和第二管件(2)的上端通过第二环形板(6)连接，所述第二环形板(6)上开设有进料口(3)和抽气口(4)；步骤二、将钼合金粉末由步骤一中所述进料口(3)装入热等静压包套中，在振动平台上振实后焊封进料口(3)；步骤三、将步骤二中装有钼合金粉末的热等静压包套的抽气口(4)连接真空泵，然后置于马弗炉中，在真空度不大于5×10^‑2Pa，温度为150℃～400℃的条件下真空热处理0.5h～4h，自然冷却后焊封抽气口(4)；步骤四、将芯材套装在步骤三中真空热处理后的热等静压包套内，然后将装有芯材的热等静压包套放入热等静压炉中，在温度为800℃～1600℃，压强为150MPa～200MPa的条件下热等静压成型2h～6h，随炉冷却后去除芯材，从热等静压包套中取出成型产品，得到管状钼合金溅射靶材。