| 摘要 |
<p>인시튜 비히클(IV) 시스템이 제공된다. 이 시스템은 기계(100)의 외부로부터 기계 내에 위치설정 가능한 비히클 본체(202)와, 비히클 본체에 결합되며, 비히클 본체에 대해 X축 방향 및 Y축 방향으로 각각 독립적으로 저장 카세트(229)를 위치설정하도록 구성되어 있는 위치설정 장치와, 비히클 본체 내에 저장가능하고, 비히클 본체로부터 이격되어 있는 작업 위치(416)까지 연장가능하며, 기계 내의 구성요소와 맞물려서 기계로부터 구성요소를 결합 및 분리하도록 구성되어 있는 삽입 및 제거 툴(230)을 포함한다.</p> |
