APPARATUS FOR MANUFACTURING POLYSILICON COMPRISING PLASMA GENERATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING POLYSILICON USING THE SAME
摘要
<p>본 발명은 반응 가스를 플라즈마 처리하는 플라즈마 발생부 및 상기 플라즈마 처리된 반응 가스를 공급받아 폴리실리콘이 생성되는 반응기를 포함하는 폴리실리콘 제조 장치이며, 상기 플라즈마 발생부와 반응기가 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조 장치 및 이를 이용한 폴리실리콘 제조 방법에 관한 것이다.</p>
