| 摘要 |
<p>Siliziumkarbidsubstrat (10) mit einer Hauptoberfläche (11) und Rückständen auf der Hauptoberfläche (11), wobei die Hauptfläche (11) unter Verwendung einer ersten alkalischen Lösung gewaschen wird; und die Hauptfläche (11) nach dem Waschen der Hauptoberfläche (11) mit der ersten alkalischen Lösung unter Verwendung einer zweiten alkalischen Lösung gewaschen wird, ein Mittelwert der Rückstände auf der mit der zweiten alkalischen Lösung gewaschenen Hauptfläche (11) zahlenmäßig gleich oder größer als 0,2 und kleiner als 200 ist.</p> |
