量测装置与量测薄膜的厚度的方法

主权项

一种量测装置，用以量测一测试结构的厚度，该量测装置包括：一安置座，包括一第一安置元件；以及一量测元件，用以在与该测试结构之上表面碰触的同时，量测该测试结构的厚度，该量测元件包括：一第一移动件，可沿着一第一方向移动；一第二移动件，与该第一移动件互相邻接，且可沿着一第二方向移动，该第二方向与该第一方向不同；及一第一滑接部，固定在该第一安置元件上，其中该第一移动件包括一第二滑接部，该第一滑接部与该第二滑接部互相嵌合，使得该第二滑接部可沿着该第一滑接部的延伸方向移动；该第二移动件包括互相邻接的一第三滑接部、一接触部份与一纪录部份，该第三滑接部与该第二滑接部嵌合，使得该第三滑接部可沿着该第二方向移动，该接触部份用以与该测试结构的上表面接触，该纪录部份用以纪录该第二移动件移动的情况。