立式热处理设备、及压力检测系统与温度感测器之组合体

主权项

一种立式热处理设备，包含：一炉体，在内周面上具有一加热部；一处理容器，用以容纳复数个待处理物体，且系设置于该炉体中，并定义出该处理容器与该炉体之间的一空间；一温度感测器，设于该炉体与该处理容器之间的该空间；一空气供应管路，连接至该炉体，用以供应冷却空气至该空间；一空气排放管路，连接至该炉体，用以从该空间排放该冷却空气；一吹送器，设于该空气供应管路及该空气排放管路之至少一者中；及一空气供应管路阀机构及一空气排放管路阀机构，分别设于该空气供应管路及该空气排放管路中，其中设置一保护管，该保护管穿透该炉体并由该炉体之外侧延伸至该炉体与该处理容器之间的该空间，连接至该温度感测器之一温度感测器信号线被容纳于该保护管中，且通向该空间之一压力检测孔系形成于该保护管中，且其中连接至该保护管之该压力检测孔的一压力检测感知器系设于该炉体之外侧；且该空气供应管路与该保护管系独立设置而成，以使得该压力检测感知器可直接检测该处理容器与该炉体之间的该空间之压力。