发明名称 单氯矽烷,彼之制造方法与制造设备
摘要
申请公布号 TWI495614 申请公布日期 2015.08.11
申请号 TW101104208 申请日期 2012.02.09
申请人 赢创德固赛有限责任公司 发明人 穆 艾奇哈德;罗里德 哈特威格;朗 裘根;梭克 蓝霍德
分类号 C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种用于制备单氯矽烷的方法,其特征在于:作为起始材料的单矽烷及二氯矽烷系在触媒的存在下反应并形成单氯矽烷,其中单矽烷及二氯矽烷系在触媒的存在下进行归中反应(comproportionation),特别是单矽烷及二氯矽烷系归中形成单氯矽烷;其中与载体材料化学结合之触媒包含通式1之胺基烷氧基矽烷或其至少一种水解及/或缩合产物(CxH2x+1O)3Si(CH2)zN(CyH2y+1)2(1)其中x=1至4;y=1至10;z=1至3;其中单矽烷与二氯矽烷形成单氯矽烷之反应系在-50℃至200℃之温度范围及/或0.0001巴至200巴(绝对压力)之压力范围进行;以及其中单矽烷与二氯矽烷系以莫耳比为13:1至8:1作为起始材料被提供进制程中。
地址 德国