电浆处理装置及电浆处理方法以及电脑可读取之记忆媒体

主权项

一种电浆处理装置，其特征为具有：可以真空排气之处理容器；及在前述处理容器内支撑被处理基板之第1电极；及在前述处理容器内，对被设定于前述第1电极上的处理空间供给处理气体之处理气体供给部；及在前述处理容器内，激发前述处理气体来产生电浆之电浆激发部；及为了从前述电浆将离子引入前述被处理基板，对前述第1电极施加第1高频之第1高频供电部；及第1高频功率调变部，以在调变频率的1周期内包含维持第1功率设定值的第1期间与维持比前述第1功率设定值更高的第2功率设定值的第2期间的方式，把前述第1高频的功率以特定的调变频率进行脉冲调变；及第1高频频率调变部，系同步于对前述第1高频的功率之前述脉冲调变，在前述第1期间维持第1频率设定值，在前述第2期间维持比前述第1频率设定值更高的第2频率设定值的方式，把前述第1高频的频率以相同的前述调变频率进行脉冲调变。