| 摘要 |
(과제) 한 쌍의 반송 부재에 의해 하방으로부터 지지되면서 반송로를 따라 반송되는 필름 형상의 기판을 작업 위치에서 지지하여 고정할 때에 기판의 외주부의 휨을 양호하게 교정한다. (해결수단) 백업 부재(41) 및 기판 프레싱 부재(431, 432) 중 적어도 한 쪽을 승강시키는 승강 구동부르 구비하고 있고, 승강 구동부는 백업 부재(41)를 상승시키고, 및/또는 기판 프레싱 부재(431, 432)를 한 쌍의 컨베이어(225, 226)와 함께 하강시킴으로써 백업 부재(41)에 의해 기판(FB)을 하방으로부터 지지하면서 한 쌍의 컨베이어(225, 226)로부터 상방으로 이간함과 아울러 기판 프레싱 부재(431, 432)에 의해 기판(FB)의 외주부 표면을 하방으로 압박한다. |
