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经营范围
发明名称
应用重覆曝光之多曝光影像混和的检测方法
摘要
申请公布号
TWI495867
申请公布日期
2015.08.11
申请号
TW103125041
申请日期
2014.07.22
申请人
牧德科技股份有限公司
发明人
汪光夏;陈辉毓
分类号
G01N21/956;G01R31/308
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;王立成 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项
一种应用重覆曝光之多曝光影像混和的检测方法,包含: 步骤S100:设定第一组态下之具不同波长段及照射角度此二者之至少其一之复数光源装置各别的曝光时间值,该等曝光时间值系组成一总曝光时间; 步骤S200:进行重覆曝光而依序使该等光源装置开启对应的曝光时间值后关闭,以使该等光源装置依序照射至一待测电路基板上并由一影像撷取装置产生该等曝光时间值内由不同波长段及照射角度此二者之至少其一之光线所混和的一检测影像;及 步骤S300:输出该检测影像以供分析检查。
地址
新竹市新竹科学工业园区工业东二路2之3号
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