主权项 |
一种选择性线性蒸发设备,包括:复数个线性蒸发器,该等线性蒸发器分别将不同原料朝向一基板蒸发,且该等线性蒸发器沿着该基板的一传递方向分隔开;角度限制盘,该等角度限制盘以朝向该线性蒸发器的一上侧的一预定高度设置在该线性蒸发器的相对侧上,并且限制从该线性蒸发器蒸发的一原料的一扩散角度;一闸门构件,该闸门构件设置在该线性蒸发器的上方且介于该等角度限制盘之间,且该闸门构件包含使该线性蒸发器对一外侧开放的一开口部分以及使该线性蒸发器从该外侧关闭的一闭合部分;及一驱动器,当该原料从该线性蒸发器蒸发时,该驱动器驱动该闸门构件以将该开口部分定位到该线性蒸发器的上方,而当该原料不从该线性蒸发器蒸发时,该驱动器驱动该闸门构件以将该闭合部分定位到该线性蒸发器的上方,其中该闸门构件的该开口部分与该闸门构件的该闭合部分连接成一列而且沿横向于该基板的该传递方向的一方向排列,其中该驱动器包括一第一滑轮,该第一滑轮设置在该线性蒸发器的一侧,而且该开口部分的一端缠绕该第一滑轮,一第一马达,该第一马达转动该第一滑轮,一第二滑轮,该第二滑轮设置在该线性蒸发器的另一侧,而且该闭合部分的一端与该第二滑轮缠绕,和一第二马达,该第二马达转动该
第二滑轮,及该开口部分或该闭合部分系藉由该第一马达与该第二马达其中之一的转动被选择性定位到该线性蒸发器的上方。
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